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FISCHERSCOPE X-RAY XDV-µ菲希尔x射线测厚仪
- 产品编号 : FISCHERSCOPE X-RAY XDV-µ
- FISCHERSCOPE X-RAY XDV-µ菲希尔x射线测厚仪，FISCHERSCOPE® XDV®-μ光谱仪是Fischer的X射线荧光 (XRF) 系列，为精确测量最微小结构的膜厚和材料分析而开发。所有设备都配备了多毛细管光学系统，能将X射线光束聚焦到10 μm FWHM。多毛细管和数字脉冲处理器DPP+的组合提供了出色的测量结果，确保了高计数率和更好的标准偏差或更短的测量时间。此外，各种滤波器以及电压和电流设置可以为多达24个元素的复杂应用提供最佳的激发条件。
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产品描述
FISCHERSCOPE X-RAY XDV-µ菲希尔x射线测厚仪
菲希尔X射线测厚仪Fischer特点
- 功能强大的高级型号，用于最小结构和小于 0.1 µm 的最薄涂层的精确涂层厚度测量和材料分析
- 带钨靶的微聚焦射线管；可选钼靶
- 4种可切换的滤波器
- 极其强大的硅漂移探测器，有效面积为20 mm²或50 mm²，可实现最高精度的薄膜检测
- 内部制造的多毛细管光学元件，最小的测量点可低至 10μm FWHM，测量时间短，强度高
- 数字脉冲处理器DPP+，用于提高计数率，减少测量时间或提高测量结果的重复性
- 分析从 Al(13) 到 U(92) 的元素，可提供氦气吹扫，可同时测量多达24种元素
- 高精度、可编程的 XY 平台，定位精度 < 5 µm，可实现最精确的样品定位和自动图案识别，实现较好的重复精度
- 在非常小的平面元件和结构上进行测量，如印刷电路板、触点或引线框架
- 测量电子和半导体工业的功能涂层
- 分析非常薄的涂层，例如，≤0.1微米的金/钯涂层
- 测定复杂的多涂层结构
- 自动测量，例如在质量控制中
- 轻元素的测量，例如测定Au和Pd下的磷含量（在ENIG/ENEPIG）。
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