FISCHERSCOPE X-RAY XDAL 237菲希尔X射线测厚仪典型的应用领域有:
•分析小于的超薄镀层
•测量电子工业或半导体工业中的功能性镀层
•测定复杂的多镀层系统
•全自动测量,如在质量控制领域
•分析焊锡中铅含量
•菲希尔X射线测厚仪配备可选的SDD 探测器:可测量镍磷中的磷含量
FISCHERSCOPE X-RAY XDAL 237菲希尔X射线测厚仪详细参数规格:
1、通用规格
设计用途:能量色散X射线荧光材料分析及镀层测厚仪用来测量薄镀层和微小结构,分析合金和微量组分。
形式设计:台式仪器,测量门向上开启可编程的工作台和电调的轴马达驱动的可更换的准直器和基本滤片
视频摄像头和激光点(类)定位测量点。
测量方向:从上到下。
2、X 射线源
X射线管:带铍窗口的微聚焦管
高压、三档:10、30、50KV
孔径(准直器):4个可切换准直器:圆形;长方形、可按要求定制其它规格。
基本滤片:3 种可切换的基本滤片(标准配置:镍,铝,无)
测量点:取决于测量距离及准直器大小;在视频窗口中显示实际的测量点大小。测量点大小约为0.15mm直径。
测量距离:0-80mm、在不同距离使用砖利简化方法的距离补偿测量。如果是特定的应用程序或更高的校准精度要求,校正是必要的。
3、X射线探测
标准:x射线接收器采用珀耳帖法冷却的半导体探测器、能量分辨率小于等于200eV、元素范围硫为S(16)到到铀U(92)
可选SDD:x射线接收器采用珀耳帖法冷却的硅漂移探测器、能量分辨率小于等于160eV、元素范围为铝AL(13) 到铀U(92)
4、样品定位
视频系统:高分辨率彩色摄像头,沿着初级射线光束方向观察测量位置手动聚焦,对被测位置进行监控
十字线(带有经过校准的刻度和测量点尺寸)、可调节亮度的照明、激光光点用于精-确定位样品。
放大倍数:40-160
5、工作台
快速,电机驱动,可编程的X/Y工作台
移动范围XY方向:255mm*235mm ;Z轴:140mm
Xy平台*快移动速度80mm/s
xyz移动重复精度小于等于0.01mm(单向)
可用样品放置区域长宽:300mm*350mm
样品重量5kg,降低精度要求情况下可达20kg
样品高度140mm
6、电气参数
电源要求交流220v、50HZ
功耗120W(不包括计算机)
保护等级IP40
7、尺寸规格
外部尺寸宽深高:570*760*650
重量约115kg
内部测量室尺寸宽深高:460*495*146
8、环境要求
使用时温度:10-40摄氏度
存储或运输时温度:0-50摄氏度
空气相对湿度,小于等于95%、无结露
9、计算单元
计算机:带扩展卡的计算机系统
软件:标准:包含fischer winFTM BASIC 包含PDM;可选:fischer winFTM SUPER
10、执行标准
CE合格标准:EN61010
X射线标准:DIN ISO 3497和ASTM B 568
型式批准:作为受完全保护的仪器
型式许可完全符合德国“Deutsche Röntgenverordnung-RöV”法规的规定。
11、菲希尔x射线荧光光谱镀层材料分析仪/x-ray厚度测试仪/射线镀层厚度检测仪FISCHERSCOPE X-RAY XDAL 237订货号
标准半导体探测器604-348
可选SDD探测器605-567
如有特殊要求,可与fischer磋商,定制特殊的XDAL型号。